X向

行程范围：100mm

滚轮压力

0～20N

定位精度：5 um

划刀压力

0～1N

Y向

行程范围：100mm

设备重量

约60kg

q 向

+/-5度旋转

外形尺寸

650  mm×650 mm×400mm

晶圆尺寸

适用于4英寸（100mm）晶圆

19″TFT彩屏，中文界面

图像系统

5X放大倍率（10X，20X可选）

Windows  7操作系统，解理机专用控制软件