划切头

X向

行程范围：160mm

滚轮压力

0～100gf

定位精度：3 um

划刀压力

0～20gf

Y向

行程范围：160mm

设备重量

约150kg

定位精度：3 um

镜头Y向

行程范围：160mm

T向

360度旋转

外形尺寸

1170mmx730   mmx500mm

晶圆尺寸

适用于6英寸(150mm)晶圆

操作界面

23.8″TFT彩屏，中文界面

图像系统

4.0X放大倍率（2.0X可选）

控制系统

Windows 7操作系统，解理机专用控制软件

标准配置

主机\计算机\23.8”显示器\ESD解理机控制软件\鼠标键盘